Elektroniikka-luokan kryogeeninen ilmanerotusyksikkö

Tämä yksikkö on suunniteltu toimittamaan erittäin{0}}puhdasta kaasumaista/nestemäistä happea, typpeä ja argonia puolijohteiden valmistukseen, aurinkosähkön valmistukseen ja elektronisten kemikaalien tuotantoon. Sen suunnittelun ydin on elektroniikka--luokan kryogeenisen ilmanerotusyksikön vakaan -tilan tasausohjauksen ja epäpuhtauksien jäämien poistokyvyssä, mikä varmistaa, että syöttökaasu täyttää elektroniikkateollisuuden asettamat tiukat raja-arvot kokonaishiilivetyjen, CO₂:n, kosteuden ja muiden epäpuhtauksien osalta.

Perusperiaate

Prosessi seuraa käänteistä Brayton-sykliä. Esipuhdistettu ilma jäähdytetään syvästi noin -170 asteesta -196 asteeseen, minkä jälkeen sille suoritetaan useita rektifiointivaiheita strukturoiduissa pakkauskolonneissa hyödyntäen hapen, typen ja argonin kiehumispisteiden eroja-. Koordinoidun-tarkkojen säätöventtiilien ja ylälauhduttimen lämpökäytön ansiosta tuotteen puhtaus vakiintuu elektroniikkatasoille{7}}. Järjestelmä integroi molekyylin-seulaadsorptioesi-puhdistuksen, turbo-paisuntajäähdytyksen ja kylmälaukun eristyksen, mikä mahdollistaa elektroniikan-luokan kryogeenisen ilmanerotusyksikön toiminnan alhaisella energiankulutuksella pitkiä aikoja.

Tekniset parametrit (tyypillinen suunnittelualue)

Virtausnopeus ja puhtaus liittyvät käänteisesti; lopullinen vastaavuus perustuu syötteen{0}}ilman koostumukseen ja käyttäjän painevaatimuksiin.

Lämpötila-alue ja energiatehokkuus

• Päälämmönvaihtimen liittimen lämpötilaero: Alle tai yhtä suuri kuin 3 astetta täydellä kuormitusalueella.
• Alapylvään pohjalämpötila: -170 astetta -175 astetta ; ylemmän sarakkeen ylälämpötila: -192 astetta -196 astetta.
• Energian kokonaiskulutus on noin 12–18 % pienempi kuin perinteisissä teollisuus{2}}luokan yksiköissä, mikä johtuu pääasiassa tehokkaasta -tehostetusta turbo-laajentimesta ja pienemmästä pakatun -kolonnin painehäviöstä. Kylmähäviö pysyy alle 5 %:ssa kokonaisjäähdytyskapasiteetista, mikä on erityisen edullista alueilla, joilla sähkökustannukset ovat korkeat.

Ydinkomponentit ja käyttöikä

• Päälauhdutin: 5052 alumiiniseos tai 304L ruostumaton teräs (kestää jännityskorroosiota).
• Pakkaus: Tehokas{0}}aallotettu strukturoitu pakkaus, jonka ominaispinta-ala on suurempi tai yhtä suuri kuin 500 m²/m³.
• Molekyyliseula: 13X-APG-laatu, suunniteltu käyttöikä Suurempi tai yhtä suuri kuin 6 vuotta.

Teolliset sovellukset

Yksikkö palvelee integroitujen piirien kiekkotehtaita, litteät{0}}näyttötehtaita, aurinkosähköharkon vetotoimintoja, optisten kuituaihioiden valmistusta ja erikoiskaasutäyttöasemia, jotka tarjoavat paikan päällä tapahtuvaa kaasuntuotantoa tai putkistoja. Se kestää syöttö-ilmanpaineen ja ympäristön lämpötilan vaihtelut ja mahdollistaa nopean kuorman-muutoskyvyn (30 % - 110 %). Riippuvuus ulkoisista nestesäiliökuljetuksista on eliminoitu, mikä vähentää saastumisriskiä logistiikan aikana.

Turva- ja ohjausjärjestelmä

• Integroitu DCS erillisellä Safety Instrumented System (SIS) -järjestelmällä hiilivetyjen ja kastepisteen jatkuvaan seurantaan.
• Sisäänrakennettu-online asetyleenianalysaattori nestemäiselle hapelle, automaattisella puhallus-ja hätäpysäytyslogiikalla.
• Kylmä-laatikkorengas, joka on täytetty perliitillä ja suojattu typpipeitolla.

Huolto ja modulaarinen asettelu

Liukulle{0}}asennettu pääkylmälaatikko on järjestetty erilleen esipuhdistusosasta-, mikä lyhentää-työmaalla tapahtuvaa asennusaikaa. Kaikki instrumenttiliitännät on varustettu kaksoislohkoventtiileillä online-kalibroinnin helpottamiseksi. Etädiagnostiikkaliitännät ovat käyttöparametrien valvontaa ja ennaltaehkäisevän huollon hälytyksiä varten.

Valinta ja lisäkokoonpano

Kun määrität järjestelmää, määritä syötteen-ilmanpaine, kohdetuotetyypit ja -puhtaudet sekä päivittäiset kuormitusprofiilit. Jos vaaditaan korkean -puhtausargonin tai ultra-korkean-puhtauden typpeä (pienempi tai yhtä suuri kuin 0,1 ppm O₂), voidaan sisällyttää hapettumiskolonni tai ylimääräinen adsorptiopuhdistusvaihe. On suositeltavaa varata tilaa tulevaa kapasiteetin laajentamista varten.

Shenger Gas on erikoistunut kryogeeniseen erotustekniikkaan. Elektroniikka-luokan kryogeeninen ilmanerotusyksikkö on määritetty standardoidusta suunnittelukirjastosta, mikä mahdollistaa nopean prosessin kohdistamisen käyttäjän määrittämien virtaus- ja puhtausvaatimusten mukaan. Hankekohtainen-kylmälaatikko-putkisto on otettu käyttöön mekaanisen eheyden ja lämpötasapainon säilyttämiseksi. Tekniset yhteenvedot energiankulutuksesta, jalanjäljestä ja investointiindikaattoreista ovat saatavilla käyttöolosuhteiden yhteydessä.

Suositut Tagit: elektroniikka-luokan kryogeeninen ilmanerotusyksikkö, Kiina elektroniikka-luokan kryogeeninen ilmanerotusyksikkö valmistajat, toimittajat, tehdas